1、提供研磨能力：绿碳化硅硬度很高，在抛光液中作为研磨颗粒，能够通过与被抛光材料表面的摩擦和切削作用，去除材料表面的微小凸起和杂质，从而降低表面粗糙度，提高表面平整度。
其尖锐的棱角可以有效地切入材料表面，实现快速的研磨，对于一些硬度较高的材料，如陶瓷、硬质合金等，绿碳化硅能发挥出良好的研磨效果，帮助实现抛光。
2、控制抛光精度：绿碳化硅颗粒尺寸均匀、形状规则，在抛光液中可以均匀分布并稳定地作用于材料表面。这有助于实现高精度的抛光，能够控制材料表面的去除量，保证抛光后的表面有良好的平面度和光洁度，满足光学元件、半导体晶圆等对抛光精度要求较高的领域的需求。
3、提高抛光效率：绿碳化硅具有良好的自锐性，在抛光过程中，其颗粒的棱角会不断磨损，但同时也会不断破碎产生新的锐利棱角，始终保持较好的研磨能力。
这使得抛光液能够在较长时间内维持较高的抛光效率，减少了因磨料钝化而需要频繁更换抛光液或进行额外处理的情况，提高了整体抛光效率，缩短了抛光时间。
4、稳定抛光过程：绿碳化硅化学性质稳定，不溶于水和一般的有机溶剂，在抛光液中能够保持良好的分散性和稳定性。它不会与抛光液中的其他成分发生化学反应，也不会在抛光过程中因外界因素而发生性质改变，从而保证了抛光过程的稳定性和一致性。
