光波导玻璃基材粗磨选用绿碳化硅GC微粉的原因

1. 切削去除效率高,适合大批量快速减薄
绿碳化硅GC莫氏硬度高、棱角锋利自锐性好,同等条件下去除速率远高于FO氧化铝研磨复合粉、白刚玉,切片后的大板玻璃可以快速去掉切割刀痕、厚余量,提升产线节拍,适合光波导大尺寸基板的粗研磨工序。
2. 硬脆玻璃适配性好,破碎磨削机理匹配玻璃
光波导属于硬脆光学玻璃,绿碳化硅GC磨粒受力后微崩形成新刃口,持续稳定切削;相比白刚玉不容易发生塑性挤压,粗磨阶段剥离材料效率更高。
3. 热稳定性好,研磨不易产生热裂纹
绿碳化硅GC导热好,磨削热量可以快速导出,减少玻璃局部过热,降低光波导基板在粗磨阶段热炸裂、热应力残留的风险。
4. 悬浮分散性好,适合双面研磨机循环研磨液
高纯分级绿碳化硅GC微粉沉降可控,配成水性研磨浆长时间循环使用,盘面切削均匀,基板整片 TTV(总厚度偏差)一致性更好,方便后续FO抛光粉精研工序接料。
5. 纯度可控,可做到低铁低杂质
光学级绿碳化硅GC经过酸洗除杂,铁杂质低,粗磨阶段不容易在玻璃表面留下色斑、污点,减轻后续清洗压力。
绿碳化硅GC微粉硬度高、自锐性强,去除效率高,可快速去除光波导玻璃切割刀痕与余量;导热优异,降低玻璃热裂风险,粉体分级稳定,适合大尺寸光波导基板双面粗研磨,为FO抛光粉精研工序提供合格毛坯。


